国产3D白光干涉仪0.1nm分辨率测量粗糙度

更新日期：2024年09月19日
有效期：180天
浏览次数：

价格：￥
供货总量：99
规格：
所属行业：五金工业品-> 仪器仪表-> 无损检测仪器
关键字：国产白光干涉仪 3d白光干涉仪白光干涉仪

【想采购，免费发布采购需求】

何汉英

点击询盘

手机查看

商家资料

深圳市中图仪器股份有限公司

联系人：何汉英
部门：市场部
职位：网路推广
电话：

手机：

地址：中国广东深圳市深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园B1栋2楼

进入商铺

在线留言

主营：

激光干涉仪影像仪测长机

企业其他产品更多>>

产品详情
联系方式

产品简介

中图仪器SuperViewW1国产3D白光干涉仪采用了扫描模块和内部抗振设计，可实现高测量精度重复性和高粗糙度RMS重复性。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

SuperViewW1国产3D白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

产品功能

(1)中图国产3D白光干涉仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例：

部分技术指标

型号		W1
光源		白光LED
影像系统		1024×1024
干涉物镜		标配:10× 选配:2.5×、5×、20×、50×、100×
光学ZOOM		标配:0.5× 选配:0.375×、0.75×、1×
标准视场		0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）
XY位移平台	尺寸	320×200㎜
移动范围	140×100㎜
负载	10kg
控制方式	电动
Z轴聚焦	行程	100㎜
Z轴聚焦	控制方式	电动
台阶测量
可测样品反射率	0.05%~100
主机尺寸	700×606×920㎜

恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。